クリーン環境機器

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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