クリーン環境機器

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930