クリーン環境機器

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930