クリーン環境機器

  1. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  2. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  3. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  7. RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B

  8. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  9. 3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus

  10. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  1. 四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー  QME200

  2. プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N

  3. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  4. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  5. スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…

  6. パルスユニット アルバック A2KH-25

  7. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020

  8. イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

  9. 恒温恒湿槽 エスペック PR-3J

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

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