クリーン環境機器

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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