クリーン環境機器

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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