クリーン環境機器

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年5月
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