クリーン環境機器

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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