クリーン環境機器

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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