クリーン環境機器

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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