クリーン環境機器

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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