クリーン環境機器

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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