クリーン環境機器

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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