クリーン環境機器

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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