クリーン環境機器

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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