クリーン環境機器

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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