クリーン環境機器

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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