クリーン環境機器

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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