クリーン環境機器

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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