クリーン環境機器

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    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

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  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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