クリーン環境機器

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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