クリーン環境機器

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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