クリーン環境機器

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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