クリーン環境機器

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  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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