クリーン環境機器

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年1月
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