クリーン環境機器

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
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