クリーン環境機器

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年5月
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