クリーン環境機器

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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