クリーン環境機器

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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