クリーン環境機器

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年1月
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