クリーン環境機器

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2025年12月
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