クリーン環境機器

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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