クリーン環境機器

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  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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