クリーン環境機器

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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