クリーン環境機器

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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