クリーン環境機器

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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