クリーン環境機器

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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