クリーン環境機器

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年2月
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