クリーン環境機器

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2025年12月
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