クリーン環境機器

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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