クリーン環境機器

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    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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