クリーン環境機器

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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