クリーン環境機器

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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