クリーン環境機器

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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