クリーン環境機器

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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