クリーン環境機器

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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