クリーン環境機器

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年5月
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