クリーン環境機器

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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