クリーン環境機器

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
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