クリーン環境機器

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年4月
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