クリーン環境機器

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
293031