クリーン環境機器

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  3. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  4. ドライポンプ/メカブポンプ・樫山/アルバック・SD60V II/PMB001CM

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  5. インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…

  6. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  7. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  8. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  9. ウルトラミクロ電子天秤 メトラートレド XP2U

  10. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  1. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …

  5. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  9. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  10. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

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