クリーン環境機器

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2025年12月
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