クリーン環境機器

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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