クリーン環境機器

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年5月
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