クリーン環境機器

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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