クリーン環境機器

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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