クリーン環境機器

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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