クリーン環境機器

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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