クリーン環境機器

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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