クリーン環境機器

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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