クリーン環境機器

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年6月
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