クリーン環境機器

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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