クリーン環境機器

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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