クリーン環境機器

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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