クリーン環境機器

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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