クリーン環境機器

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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