クリーン環境機器

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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