クリーン環境機器

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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