クリーン環境機器

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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