クリーン環境機器

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2025年12月
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