クリーン環境機器

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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