クリーン環境機器

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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