クリーン環境機器

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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