クリーン環境機器

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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