クリーン環境機器

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年5月
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