クリーン環境機器

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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