クリーン環境機器

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728