クリーン環境機器

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 恒温恒湿器　エスペック　LH-113 – [M241127A0…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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