クリーン環境機器

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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