クリーン環境機器

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年1月
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