クリーン環境機器

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年3月
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