クリーン環境機器

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年5月
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