クリーン環境機器

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
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