クリーン環境機器

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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