クリーン環境機器

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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