クリーン環境機器

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年12月
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