クリーン環境機器

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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