クリーン環境機器

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年3月
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