クリーン環境機器

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年6月
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