環境試験機・乾燥機オーブン

恒温槽、電気炉、オーブン、マッフル炉、インキュベーター、恒温恒湿槽、冷熱熱衝撃装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ドライポンプ　樫山製　NeoDry-36C-[M220718A01]]

  5. ドライポンプ　樫山製　NeoDry60EU-082C-[M231212A01]

  6. CO2インキュベーター　サンヨー製　MCO-96-[M230718A…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. スピンコーター　ミカサ製　MS-B100-[M240310A09]

  9. 引張圧縮試験機　ORIENTEC（オリエンテック）STA-115…

  10. クリーンベンチ　昭和科学　S-1300WV-[M240209A01]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2024年5月
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