XRD

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  7. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年10月
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