XRD

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年7月
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