超音波ボルトテンションモニター

  1. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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