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  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

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  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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