マッチングボックス

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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