マッチングボックス

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年6月
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