マッチングボックス

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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