マッチングボックス
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真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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