マッチングボックス
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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