マッチングボックス
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スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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