マッチングボックス
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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