マッチングボックス

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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