PDV装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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