PDV装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. RF電源　RFPP　RF10S
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930