窒素精製装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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