窒素精製装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 恒温槽　エスペック　PH-402

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年11月
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