窒素精製装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年12月
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