窒素発生装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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