窒素発生装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年6月
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