窒素発生装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年5月
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