窒素発生装置

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年1月
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