窒素発生装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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