窒素発生装置

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
2026年5月
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