窒素発生装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
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