窒素発生装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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