窒素発生装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年3月
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