窒素発生装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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