窒素発生装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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