窒素発生装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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