窒素発生装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年1月
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