窒素発生装置

  1. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  2. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  3. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  4. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  5. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  6. ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 &#8…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…

  2. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  3. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  4. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  5. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  6. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  7. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  8. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  10. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

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