窒素発生装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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