窒素発生装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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