窒素発生装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2025年12月
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