窒素発生装置

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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