窒素発生装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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