窒素発生装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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