窒素発生装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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