窒素発生装置

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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