窒素発生装置

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年5月
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