窒素発生装置

  1. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…

  2. スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ

  3. ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…

  4. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  5. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  6. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  7. ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  9. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  10. ダイサー ディスコ DAD522

  1. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  3. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  6. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  7. ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300

  8. プラズマクリーナー サムコ PC-300

  9. 恒温恒湿槽 エスペック PL-1J

  10. 液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST

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