窒素発生装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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