窒素発生装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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