窒素発生装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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