窒素発生装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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