窒素発生装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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