窒素発生装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
2026年6月
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