窒素発生装置

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  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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