窒素発生装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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