窒素発生装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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