窒素発生装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年4月
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