金型温調器

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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