ミストコレクター

  1. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
2024年7月
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