MASS

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年12月
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