MASS

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
2026年5月
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