MASS

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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