MASS

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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