MASS

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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