MASS

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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