MASS

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年5月
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