MASS

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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