MASS

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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