MASS

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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