MASS

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年1月
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