MASS

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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