MASS

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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