MASS

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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