MASS

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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