MASS

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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