MASS

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  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

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  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
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