MASS

  1. ダイサー　ディスコ　DAD522
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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