MASS

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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