MASS

  1. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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