MASS

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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