MASS

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
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