MASS

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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