MASS

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  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

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  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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