MASS

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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