MASS

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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