MASS

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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