MASS

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年7月
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