MASS

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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