MASS

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  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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