MASS

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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