MASS

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031