MASS

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年2月
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