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  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  4. 恒温恒湿槽

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  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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2026年3月
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