MASS

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031