MASS

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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