MASS

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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