MASS

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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