MASS

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  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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