MASS

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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