MASS

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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