MASS

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
2026年5月
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