MASS
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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