MASS

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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