MASS

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年2月
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