MASS

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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