MASS

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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