MASS

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年6月
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