MASS

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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