MASS

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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