MASS

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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