MASS

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年2月
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