MASS

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年1月
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