MASS

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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