MASS

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年5月
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