MASS

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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