MASS

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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