MASS

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年1月
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