MASS

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年12月
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