MASS

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2025年12月
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