MASS

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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