MASS

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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