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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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