MASS

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年12月
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