MASS

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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