MASS

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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