MASS

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年2月
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