MASS

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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