MASS

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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