MASS

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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