ヘリウムコンプレッサー

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
2026年6月
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