ヘリウムコンプレッサー

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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