ヘリウムコンプレッサー

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年3月
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