ヘリウムコンプレッサー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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