ヘリウムコンプレッサー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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