ヘリウムコンプレッサー

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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