ヘリウムコンプレッサー

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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