ヘリウムコンプレッサー

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年6月
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