ヘリウムコンプレッサー

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年1月
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