ヘリウムコンプレッサー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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