ヘリウムコンプレッサー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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