ヘリウムコンプレッサー

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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