ヘリウムコンプレッサー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
2026年5月
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