ヘリウムコンプレッサー

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  10. RF電源 RFPP RF20S

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  2. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

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  4. イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

  5. 恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP

  6. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  7. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  8. プラズマクリーナー サムコ PC-300

  9. 恒温恒湿槽 エスペック PR-3J

  10. サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012

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