ヘリウムコンプレッサー

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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