ヘリウムコンプレッサー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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