ヘリウムコンプレッサー

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  5. イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…

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  9. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  10. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

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  2. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  3. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  4. プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …

  5. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  6. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  7. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  8. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  10. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

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