ヘリウムコンプレッサー

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年7月
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