ヘリウムコンプレッサー

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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