ヘリウムコンプレッサー

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年5月
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