ヘリウムコンプレッサー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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