ヘリウムコンプレッサー

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年5月
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