ヘリウムコンプレッサー

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年6月
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