ヘリウムコンプレッサー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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