ヘリウムコンプレッサー

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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