ヘリウムコンプレッサー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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