ヘリウムコンプレッサー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年3月
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