ヘリウムコンプレッサー

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年2月
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