ヘリウムコンプレッサー

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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