ヘリウムコンプレッサー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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