ヘリウムコンプレッサー

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  8. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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