ヘリウムコンプレッサー

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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