ヘリウムコンプレッサー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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