ヘリウムコンプレッサー

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  9. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  1. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  2. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400

  4. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  5. 恒温槽 エスペック PH-402

  6. RF電源 RFPP RF10S

  7. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  8. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  9. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…

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