ヘリウムコンプレッサー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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