ヘリウムコンプレッサー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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