ヘリウムコンプレッサー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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