ヘリウムコンプレッサー

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  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

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  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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