ヘリウムコンプレッサー

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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