ヘリウムコンプレッサー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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