ヘリウムコンプレッサー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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