ヘリウムコンプレッサー

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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