ヘリウムコンプレッサー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年11月
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