ヘリウムコンプレッサー

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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