HAST装置
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
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マイクロ波電源/発振器 IDX IMG-2503
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
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