HAST装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年10月
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