HAST装置

  1. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年10月
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