FTIR

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年2月
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