FTIR

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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