FTIR

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
2026年5月
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