FTIR

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年5月
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