FTIR

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
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