FTIR

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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