FTIR

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  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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