FTIR

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年11月
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