FTIR

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  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

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  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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