FTIR

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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