FTIR

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年2月
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