FTIR

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  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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