FTIR

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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