FTIR

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年11月
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