FTIR

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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