FTIR

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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