FTIR
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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