FTIR

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. RF電源　RFPP　RF10S
2026年5月
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