FTIR

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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