FTIR

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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