FTIR

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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