FTIR

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
2026年5月
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