FTIR

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. RF電源　RFPP　RF10S
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