FTIR

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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