FTIR

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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