FTIR

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年5月
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