FTIR

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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