FTIR

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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