FTIR

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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