FTIR

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031