FTIR

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年5月
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