FTIR

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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