FTIR

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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