FTIR
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真空オーブン ヤマト科学 ADP200
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
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露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
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