FTIR

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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