FTIR

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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