FTIR

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  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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