FTIR

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  2. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  3. 連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  5. ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300

  6. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…

  8. 検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  10. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

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