FTIR

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年1月
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