FTIR

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  7. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年6月
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