FTIR

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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