FTIR

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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