FTIR

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  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
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