FTIR

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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