FTIR

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年2月
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