FTIR

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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