FTIR

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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