FTIR

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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