FTIR

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
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