FTIR

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  7. スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH

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  9. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…

  10. ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  3. 走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …

  4. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  5. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  6. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  7. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…

  9. マッチングコントローラー AS-TECH RC-11

  10. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

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