FTIR

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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