FTIR

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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