FTIR

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年12月
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