FTIR

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  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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