FTIR

  1. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  2. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  3. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  5. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  6. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  7. 多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…

  8. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  9. イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…

  10. 高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  2. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  4. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  5. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  7. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  8. 液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST

  9. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…

  10. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

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