FTIR

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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