FTIR

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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