FTIR

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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