FTIR

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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