FTIR

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年5月
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