FTIR

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  2. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年6月
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