FTIR

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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