FTIR

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年3月
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