FTIR

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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