FTIR

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
2026年6月
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