FTIR

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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