コーティングマシン

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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