CNコーダー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温槽　エスペック　PH-402

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年10月
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