オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年3月
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