オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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