オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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