オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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