オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年6月
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