オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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