オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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