オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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