オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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