オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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