オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年6月
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