オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年4月
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