オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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