オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年4月
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