オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年12月
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