オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

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  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

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  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年1月
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