オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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