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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

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  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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