オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年5月
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