オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
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