オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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