オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL
2026年6月
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