オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年12月
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