オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  5. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
2026年6月
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