オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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