オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. RF電源　RFPP　RF20S

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年6月
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