オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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