オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年5月
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