オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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