オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年6月
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