オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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