オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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