オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

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  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

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  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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