オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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