オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  5. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年6月
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