オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
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