オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年6月
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