オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

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  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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