オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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