オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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