オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ダイサー　ディスコ　DAD522
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年5月
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