オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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