オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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