オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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