オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年4月
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