オートクレーブ（高圧蒸気滅菌器）

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年5月
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