AOI基板検査

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  10. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
2024年10月
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