AOI基板検査

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  5. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  6. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020

  7. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

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  10. エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…

  1. 検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER …

  3. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  4. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  5. ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…

  6. クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS

  7. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  8. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  9. 遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS

  10. RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW

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