AOI基板検査

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
2026年6月
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