AOI基板検査

  1. レーザー干渉計　オリンパス　KIF-202 -[M230314A03]

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス製　VK-8510 -[M…

  3. ドラフトチャンバー　ヤマト科学製　LDS150 -[M220620A02]

  4. シェイカー（振とう機）サーマル化学産業　型式：DS-501 -[M230214A…

  5. 安全キャビネット　日立製　SVC1306ECⅡAB -[M230502A05]

  6. 純水製造装置オートスチル（蒸留水製造装置）ヤマト科学製　WS-33

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M230214A06]

  8. 超音波洗浄機（卓上）ブランソン製（ヤマト科学）5510J-MT[M230325A…

  9. 超純水製造装置　メルクミリポア製　AFS 8D -[M230423A01]

  10. 安全キャビネット　日立製　SCV-803EC2A -[M220619A01]
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-500・M200414A05

    スクロールポンプ　アルバック製<br>型式：DIS-500
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M201217A10）
  3. 樹脂吸引輸送装置・松井製作所・JL4-5VC-J

    樹脂ジェットローダー（吸引輸送装置）松井製作所<br>型式：JL4-5VC…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M230214A06]

  5. レーザーマーカー　パナソニック製（panasonic）LP-410TU-[M220607A…
  6. FIB装置（集束イオンビーム装置）・SII・SMI9200IW

    FIB装置（集束イオンビーム装置）SII製<br>型式：SMI9200IW （M2001…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<br>型式：UB011…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （M210320A04）
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クールライン　型式…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサイテック製<br>…
2023年6月
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