AOI基板検査

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年11月
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