AOI基板検査

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年6月
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