AOI基板検査

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年1月
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