AOI基板検査

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  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

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  1. ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コント…

  2. ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  4. ウェハーマウンター 日東電工 M286N

  5. RF電源 RFPP RF10S

  6. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  7. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

  8. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  9. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020

  10. 四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー  QME200

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