AOI基板検査

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年6月
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