電流計

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年6月
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