ＵV洗浄装置

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  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年10月
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