ＵV洗浄装置

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  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年8月
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