高温恒温槽

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年5月
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