製作

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
2026年10月
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