製作

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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