製作

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年1月
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