自家発電装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  6. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  7. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年6月
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