自家発電装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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