自家発電装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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