油回転式真空ポンプ

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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