加速寿命試験装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K
2026年10月
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