レーザー変位計

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年5月
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