ラボ用機器

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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