ラボ用機器

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  2. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402
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