モールド装置

  1. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  3. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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