マルチメーター

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2026年10月
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