マルチメーター

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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