プローバー

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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