プローバー

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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