ピラニー真空計

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年8月
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