バキュームオーブン

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年8月
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