バキュームオーブン

  1. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 恒温槽　エスペック　PH-402

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年9月
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