デジタル顕微鏡

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    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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