オゾンガスモニター

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年9月
月 火 水 木 金 土 日
 123456
78910111213
14151617181920
21222324252627
282930