オゾンガスモニター

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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