ウェーブフォームモニター

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
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