ＵV洗浄装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年9月
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