粗さ計

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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