粗さ計

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. RF電源　RFPP　RF10S

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  6. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年10月
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