研磨機

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 恒温槽　エスペック　PH-402

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年10月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031