研磨機

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. RF電源　RFPP　RF20S

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年10月
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