油回転式真空ポンプ

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2026年3月
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