安定性試験機

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]

  8. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
2024年7月
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