圧縮空気

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年5月
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