圧縮空気

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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