圧縮空気

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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