圧縮空気

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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