圧縮空気

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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