圧縮空気

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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