圧縮空気

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  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
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