圧縮空気

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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