圧縮空気

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  2. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

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  4. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  8. 恒温恒湿槽

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  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  10. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

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