株式会社未来産業技術研究所
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EPMA 電子線マイクロアナライザー 電子プローブマイクロアナライザー 電子プローブ微小分析器メーカー:島津製作所 型式…
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
恒温槽 エスペック PH-402
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
ターボ分子ポンプ LEYBOLD TURBOVAC 361 (コント…
ロータリーエバポレーター EYELA N-1100 付属機器…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400