レーザースキャンマイクロメーター

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
2026年10月
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