マニュアルプローバー

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年10月
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