マニュアルプローバー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年6月
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