デジタル温湿度計・露天計

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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