デジタル温湿度計・露天計

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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