デジタル温湿度計・露天計

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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