デジタル温湿度計・露天計

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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