デジタル温湿度計・露天計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年2月
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