デジタル温湿度計・露天計

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
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