デジタル温湿度計・露天計

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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