デジタル温湿度計・露天計

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2025年12月
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