デジタル温湿度計・露天計

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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