デジタル温湿度計・露天計

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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