デジタル温湿度計・露天計

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年2月
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