デジタル温湿度計・露天計
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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恒温恒湿器 エスペック LH-113 – [M241127A0…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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