デジタル温湿度計・露天計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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