デジタル温湿度計・露天計

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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