デジタル温湿度計・露天計

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年2月
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