デジタル温湿度計・露天計

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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