デジタル温湿度計・露天計

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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