デジタル温湿度計・露天計
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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