デジタル温湿度計・露天計

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年3月
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