デジタル温湿度計・露天計

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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