デジタル温湿度計・露天計

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年3月
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