デジタル温湿度計・露天計

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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