デジタル温湿度計・露天計

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年3月
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