デジタル温湿度計・露天計

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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