デジタル温湿度計・露天計
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ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…
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真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
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マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
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ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
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FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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