デジタル温湿度計・露天計

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年6月
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