デジタル温湿度計・露天計

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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