デジタルエレクトロメーター

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年8月
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