コーティング装置

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  10. ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40

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  4. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…

  5. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  7. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  8. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  9. ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400

  10. ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E

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